信号波長:250nm
高精度:±1μｍ/420mm
高速応答:700mm/s
最高分解能:0.0625nm
ラインナップ:原点付、原点無し
完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
スケール部:青板ガラス・低膨張ガラス
厚み:12mmの薄型ヘッド
各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
真空・非磁性対応（特殊仕様品）
スペック
| 主な仕様 | ||
|---|---|---|
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レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。 本製品は改善の為予告なく変更する場合がありますので、最新の仕様書にて機能・性能をご確認ください。ご了承ください。 | ||
| 型名 | BH25-RE | BH25-NE |
| 有効長 ： L(mm) | 30/70/120/170/220/270/320/370/420（低膨張ガラス、青板ガラス） | |
| スケール全長 | 有効長＋26ｍｍ | |
| 最大可動長 | 有効長＋10ｍｍ | |
| 精度（20℃にて） | ±0.5μｍ（30mm-170ｍｍ） ±1.0μｍ（220mm-420ｍｍ） | |
| 格子ピッチ | 1.0μｍ | |
| 信号波長 | 250nm | |
| 原点位置 | 1点 | 無 |
| 原点検出方向 | 片方向 | － |
| 温度膨張係数 | -0.7×10-6/℃（低膨張ガラス） 8×10-6/℃（青板ガラス） | |
| 光源 | 半導体レーザ 波長790nm 最大出力6mW | |
| 検出方式 | 回折格子走査式 | |
| 使用温度範囲 | 10℃～30℃（結露不可） | |
| 保存温度範囲 | －10℃～50℃（湿度は60％以下のこと） | |
| 最大応答速度 | 700mm/s（BD96接続時） | |
| 出力信号 | インターポレータBD96接続 | |
| 出力分解能 | BD96接続（分割数に依存） | |
